自动化半导体参数测试系统
针对大规模测试，如晶元上多点测试，复杂系统的自动化测试，自动化半导体参数测试系统（S500/S530/S540），支持各类晶元Wafer和MEMS的自动化、半自动化参数测试。广泛用于晶元的
- 失效分析测试（FA）
- 质量控制测试（QA）
- 可靠性分析测试（RA）。其中S540支持高压功率半导体自动化参数测试。
S530 功能
- 灵活的探测器接口选项，包括测试头，支持原有吉时利和 Keysight 装置
- 触摸一次探头即可完成高压和低压参数的测试
- 通过全新系统参考单元 (SRU) 进行全自动系统级校准符合最新质量标准
- KTE 7 中的运行状况检查软件工具最大限度地延长系统正常运行时间和提高数据完整性
- 内置的瞬态过电压和/或过电流事件保护可最大程度地减少代价高昂的系统停机或对晶片造成损坏
S540 功能
- 在单次探头触摸中自动在多达 48 个引脚上执行所有晶片级参数测试，包括高电压击穿、电容和低电压测量，而无需更改电缆或探头卡基础设施
- 在最高达 3kV 的条件下执行晶体管电容测量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而无需手动配置测试引脚
- 在高速、多引脚、全自动测试环境中实现低电平测量性能
- 非常适合于过程集成、过程控制监控和生产芯片分类中的全自动或半自动应用
- 通过最大程度减少测试时间、测试设置时间和占地面积，降低拥有成本，同时实现实验室级测量性能
S500 功能
- 全量程源测量单元 (SMU) 仪器技术规格，包括 subfemtoamp 测量，确保在几乎任何设备上都能执行广泛的测量。
- 适用于内存检定、电荷泵、单脉冲 PIV（电荷陷阱分析）和 PIV 扫描（自加热回避）的脉冲生成和超快 I-V。
- 利用支持 Keithley 系统的可扩展 SMU 仪器，提供低或高通道数系统，包括并行测试。
- 适用于测试功率 MOSFET 和显示驱动器等测试器件的高电压、电流和功率源测量仪器。
- 开关、探头卡和布线保证系统完全适用于您的 DUT。
