输出范围±210V/±10.5A（脉冲），最小分辨率100nV/10fA。（可定制）
频率可达1kHz-1MHz，电容测量范围100fF-1μF。（可定制）
配备插座适配器，避免插入式器件连接错误。（可定制）
| 型号 | STS6001 | ||
|---|---|---|---|
| 集电极/漏极通道 | 最大输出 | 电压 | DC±210V |
| 电流 | DC±3.03A | ||
| 脉冲±10.5A | |||
最小分辨率 | 源极 | 100nV*1/10fA*1 | |
| 测量 | 100nV*1/10fA*1 | ||
| 栅极通道 | 最大输出 | 电压 | DC±210V |
| 电流 | DC±3.03A | ||
| 脉冲±10.5A | |||
| 最小分辨率 | 源极 | 100nV*1/10fA*1 | |
| 测量 | 100nV*1/10fA*1 | ||
| 电容测量 | 最大偏置电压 | 集电极/漏极/栅极 | ±210V |
| 频率范围 | 1kHz-1MHz | ||
| 电容范围 | 100fF-1μF | ||
| 工作范围 | IV功能 | 集电极/漏极电压 | DC±210V |
| 集电极/漏极电流 | DC±3.03A | ||
| 脉冲±10.5A | |||
| 栅极 | DC±210V/±3.03A | ||
| 脉冲±210V/±10.5A | |||
| CV功能 | 集电极/漏极/栅极 直流偏置电压 | ±210V | |
| 频率 | 1kHz-1MHz | ||
| 电容 | 100fF-100nF | ||
| 栅极电荷功能 | Qg、Qgd、Qd | 1nC-100μC | |
| VDD | 210V | ||
| ID | 10.5A | ||
| 栅极驱动 | ±30V | ||
*1. 需选配SMU模块
STS系列半导体静态参数测试系统围绕“功能模块+测试能力”双维度设计，既确保操作直观高效，又实现全面的测试覆盖。系统搭配IVCVQG测试治具和SemiWorks上位机测试软件，可实现多维度测试能力，满足半导体器件从研发到量产的全生命周期测试需求。
具备宽泛的电压和电流（选配，3kV和1500A）
低于毫微安的电流测量
IVCVQG测试治具集成全自动测试切换电路，可完成高压和大电流测试以及IV、CV测量切换
从参数验证到可靠性评估，实现全流程测试支持
