当前位置:首页 / 新闻资讯 / 行业资讯

浙大联合实验室制备出厚度达100mm碳化硅单晶

发布日期:2024-05-06     38 次

近日,杭州科创中心官微发文称,浙江大学杭州国际科创中心(简称科创中心)先进半导体研究院-乾晶半导体联合实验室(简称联合实验室)首次生长出厚度达100 mm的超厚

文章指出,为提升碳化硅晶体厚度,联合实验室开展了提拉式物理气相传输(Pulling Physical Vapor Transport, PPVT)法生长超厚的研究(图1a)。   

source:先进半导体研究院

采用提拉式物理气相传输法,联合实验室成功生长出直径为6英寸(即150mm)的,其厚度突破了100mm。测试加工而得的衬底片的结果显示,该超厚碳化硅单晶具有单一的4H晶型(图2a)、结晶质量良好(图2b),电阻率平均值不超过∼ 30 mΩ·cm。


source:先进半导体研究院


为您精选

寻找更多销售、技术和解决方案的信息?

关于绿测

广州绿测电子科技有限公司(简称:绿测科技)成立于2015年11月,是一家专注于耕耘测试与测量行业的技术开发公司。绿测科技以“工程师的测试管家”的理念向广大客户提供专业的管家服务。绿测科技的研发部及工厂设立于广州番禺区,随着公司业务的发展,先后在广西南宁、深圳、广州南沙、香港等地设立了机构。绿测科技经过深耕测试与测量领域多年,组建了一支经验丰富的团队,可为广大客户提供品质过硬的产品及测试技术服务等支持。

绿测工场服务号
绿测工场服务号
绿测科技订阅号
绿测科技订阅号
020-2204 2442
Copyright @ 2015-2024 广州绿测电子科技有限公司 版权所有 E-mail:Sales@greentest.com.cn 粤ICP备18033302号